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更新时间:2022-08-12 20:09:16
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本产品可应用于半导体行业的低温退火、离子扩散等技术领域,具有温度控制精准、恒温区温场范围大、可编程自动控制和超温自动断电保护等特点,目前已成功应用于光通信领域的光学波导芯片制作。可提供不同炉体尺寸、炉管材料和坩埚材料的定制任务。
温控范围室温~600℃ 温控精度±1℃
恒温区横向长度10cm-100cm
恒温曲径向长度10cm-150cm
炉管材料高纯石英、高纯刚玉等
坩埚材料高纯石英、高纯刚玉等
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